4、电子工业：电子工业中的外延、分散、化学气相淀积、离子注入、等离子干刻、光刻等；

  氮气发生器是一种先进的气体别离技能，以碳分子筛（CMS）为吸附剂，选用常温下变压吸附原理（PSA）别离空气制取高纯度的氮气，氧、氮两种气体分子在分子筛表面上的分散速率不同，直径较小的气体分子（O2）分散速率较快，较多的进入碳分子筛微孔，直径较大的气体分子（N2）分散速率较慢，进入碳分子筛微孔较少。运用碳分子筛对氮和氧的这种挑选吸附性差异，导致短时间之内氧在吸附相富集，氮在气体相富集，如此氧氮别离，在PSA条件下得到气相富集物氮气

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